Wafer Flati ja Notch suhe

 Vahvliplaadid ja sälgud on olulised omadused, mida kasutatakse vahvlite orientatsiooni määramiseks vahvlite valmistamise ajal, ning neil on oluline roll vahvlite töötlemisel, joondamisel ja kontrollimisel.

1. Vahvel

Vahvli tasapind on vahvli välisserva sirge osa, mida kasutatakse vahvli kindla orientatsiooni märgistamiseks ja vahvli õige joondamise tagamiseks vahvli töötlemise ja käsitsemise ajal. Mõelge sellele kui kompassi osutile, mis aitab suunata vahvlite õiget paigutust seadmesse.

0010-20132 6" Transfer Blade Assy

Funktsioonid:

Orientatsiooninäit: asukoha määramise servad näitavad tavaliselt vahvli kindlat tasapinnalist orientatsiooni. Näiteks 100 > orientatsiooniga P-tüüpi < räniplaatide puhul võivad servade asukoha määramine aidata näidata nende kardinaalset orientatsiooni. Seda seetõttu, et erineva kristallide orientatsiooniga ränikristallide struktuur erineb füüsikaliste ja elektriliste omaduste poolest ning vahvliplaadi ülesanne on tagada, et vahvli töötlemisel tuvastatakse õige kristallide orientatsioon.

Joondusmärgistus: vahvlite valmistamisel on vaja mitut joondustoimingut, nagu litograafia joondamine, söövitamise joondamine, söövitamine, söövitamine. Tasapind on nagu koordinaatmärk kaardil, aidates masinal vahvli asendit joondada ja tagada töötlemise täpsuse.

Analoogia näide: vahvli tasapinda saab võrrelda pusle indikaatorjoontega, mis ütleb meile, kuidas osi õigesti kokku panna. Ilma nende ridadeta ei pruugi me mõistatust õigesti täita.

2. Vahvlisälk

Vahvlisälk on väike sälk või sälk vahvli välisservas. See sälk on sarnane asukoha määrava servaga ja sellel on ka vahvli suuna märgistamise funktsioon, kuid sellel on erinev kuju ja funktsioon. Tavaliselt on sälk füüsiline sälk, samas kui ankru serv on sirge.

0010-20129 6" Puhvri tera koost

Funktsioonid:

Täpne positsioneerimine: täpsema orientatsioonimärgistuse tagamiseks kasutatakse sageli sälkusid, eriti suuremate vahvlite, näiteks 300 mm vahvlite puhul. Sälkude abil suudavad tootmisseadmed hõlpsamini tuvastada vahvli orientatsiooni ja vältida plaadi pöörlemisest või kergest liikumisest tulenevaid kõrvalekaldeid.

Vältige valesid joondusi: sälgud toimivad markeritena, mis aitavad automaatikaseadmetel järjepidevamalt säilitada vahvli orientatsiooni kogu töötlemise ajal. See vähendab inimlikke vigu ja suurendab tootlikkust.

Analoogia näide: sälku saab võrrelda autorehvi klapiasendiga, kuigi see ei mõjuta rehvi pöörlemist, kuid see on võtmepunkt rehvi positsioneerimisel, tagades rehvi täpse paigaldamise.

3. Vahvli tasapinna ja sälkude suhe

Vahvliplaadid ja sälgud täiendavad üksteist vahvli valmistamise protsessis. Asukohaservad annavad umbkaudse ülevaate vahvli orientatsioonist, samas kui sälgud pakuvad füüsilisi markereid edasiseks täpseks positsioneerimiseks. Mõlemad on enamikus rakendustes samaaegselt olemas, eriti suurtes plaatides, näiteks 300 mm vahvlites.

Sünergiline roll vahvlite töötlemisel: tasapinnad aitavad määrata vahvli üldist orientatsiooni ja tagavad vahvli esialgse joonduse; sälgud pakuvad lisaks füüsilist funktsiooni, mis aitab masinal orientatsiooni täpsemalt tuvastada, tagades täpsuse kogu tootmisprotsessi vältel.

0010-20133 8"Transfer Blade Assy

4. Praktilise rakendusega seotud punktid

Mõju tootmisprotsessile: tasapindade ja sälkude täpsus on kriitilise tähtsusega kogu vahvli töötlemise täpsuse jaoks. Kui nende funktsioonide lokaliseerimisel on viga, võib see põhjustada kogu vahvli elektriliste omaduste ebastabiilsust, mis mõjutab lõpliku kiibi jõudlust. Seetõttu on väga oluline tagada nende omaduste täpsus tootmisprotsessi käigus.

Märgistusmeetodite erinevused: Erinevad vahvlite tarnijad võivad kasutada erinevaid märgistamisviise, näiteks võivad mõned vahvlid olla ainult lamedate ja ilma sälkudeta; Teised võivad ankurdatud servadele sälgud lisada. Nende märgiste kujundamisel on oluline arvestada seadmete ühilduvust ja tootmisprotsessi vajadusi.

5. Järeldus

Kuigi vahvliplaadid ja sälgud on välimuselt erinevad, on neil koos oluline roll vahvli orientatsiooni märgistamisel ja joondamise täpsuse tagamisel. Ankruserv on nagu kompass, mis aitab meil määrata üldist suunda; sälgud seevastu on täpsem füüsiline omadus, mis aitab tagada ühtlase orientatsiooni kogu tootmisprotsessi vältel. Need kaks on hädavajalikud omadused tänapäevases vahvlitootmises, eriti suurte vahvlite valmistamisel, millel on olulisem roll.