Eelvaakumkonveier (koormuslukk) ja ülekandeplatvormi põhikorpus

Eelvaakumkonveier on atmosfääri ja vaakumi ülekandekamber, mida kasutatakse reaktsioonikambri eraldamiseks otsesest kokkupuutest väliskeskkonnaga, et tagada reaktsioonikambri puhtus ja vähendada reaktsiooni saastumise tõenäosust. kamber. Kui esiosa moodul peab vahvli üles võtma ja eelvaakumkonveierile asetama, tuleb see täita lämmastikuga, õhurõhk õõnsuses reguleeritakse atmosfääri olekule ja seejärel eelvaakumkonveieri ülekandeklapp. -vahvli korjamiseks ja asetamiseks avatakse esiosa mooduli küljel asuv vaakumkonveier; Vahvlite korjamisel ja asetamisel ülekandekambrist (edastusplatvormi osa) vaakumeelsesse ülekandekorpusesse on vaja kasutada vaakumpumpa, et gaas välja pumbata eelvaakumülekande korpuses, reguleerida vaakumiga. olekus ja seejärel avage vaakumeelse ülekande korpuse teisel küljel asuv ülekandeklapp ning seejärel teostage vahvlite valimine ja asetamine.

Konkreetsed toimingud ülekandesüsteemis transporditava vahvli jaoks on järgmised: kõik uksed suletakse → vahvli laadimisava avatakse, vahvlikasseti uks avatakse → atmosfääri manipulaator haarab vahvli kasseti vahvlipaadilt → vahvel asetatakse asendisse → vahvli asend on kalibreeritud → LoadLockA valatakse lämmastikgaas → avatakse LoadLockA uks → atmosfäärimanipulaator asetab vahvli LoadLockA → sulgeb LoadLockA ukse → LoadLockA vaakumib → avab reaktsioonikambri ukse → tühi manipulaator paneb vahvli reaktsioonikambrisse → reaktsioon toimub → pärast reaktsiooni lõppemist reaktsioonikamber imetakse tolmuimejaga → ülekandekambri uks avatakse → vaakummanipulaator viib vahvli ülekandekambrisse → sulgeb reaktsioonikambri ukse → avab LoadLockB ukse, → vaakummanipulaator viib vahvli LoadLockB-sse → sulgeb LoadLockB luugi → LoadLockB täidetakse lämmastikuga → avab LoadLockB ukse → atmosfääri manipulaator liigutab vahvli LoadLockB-st välja → sulgeb LoadLockB