Pooljuhtide teadmiste selgitus: PVD teadmised 30 küsimust

01

Mis on Target?

Vastus: PVD-s on sihtmärk metallmaterjal, mida kasutatakse kile saamiseks.

02

Mis on PVD protsessi põhimõte?

Vastus: Lisaks suurele potentsiaalide erinevusele sihtmärgi ja vahvli vahel dissotsieerub protsessigaas Ar kõrge taseme erinevuse all Ar-ks ja seejärel tõmbab Ar positiivselt elektrivälja ja põrkub sihtmärgiga, nii et sihtmärgi tekitatud metalliterad kukuvad vahvlile, moodustades gravitatsiooni mõjul kile, see protsess on PVD

.

03

Mis on pooljuhtide üldise metalltraadi materjalist?

Vastus: Volframtraat (W) / alumiiniumtraat (Al) / vasktraat(Cu).

04

Milliseid metallkilesid saab PVD-s?

Vastus: Alumiinium (AL), titaan (Ti), titaannitriid (TiN), koobalt (Co). Üldiselt, kui vahvel siseneb PVD-masinasse, peab see olema kaetud titaani / titaannitriidi / alumiiniumi / titaani / titaannitriidiga. Viiekihiline metall, koobalt toimib silitsiidina.

05

Mis on titaani (Ti) funktsioon?

Vastus: Vähendage metalli kontakttakistust.

06

Mis on titaannitriidi (TiN) funktsioon?

Vastus: (1) Difusioonitõkkekihina blokeerib see difusiooni alumiiniumi ja ränioksiidi vahel. (2) Liimikihina ei kleepu volfram ja ränioksiid hästi ning titaannitriidi lisamine nende kahe vahele võib suurendada nakkumist üksteisega. (3) ARC-kihina on vaja peegeldusvastast kihti, et vähendada alumiiniumi suurt peegelduvust, et saavutada mikropildistamise protsessis kõrge eraldusvõime.TIN-kamberon konteiner, kus protsess toimub.

07

Kui kamber on mõnda aega ooterežiimis, miks peate tegema Dummyt?

Vastus: Kui kamber on teatud aja ooterežiimis, muutub kambri seisund (vaakum, temperatuur) veidi. Kui te mannekeeni ei tee, mõjutab see paar esimest tootetükki. Üldjuhul koostab protsessiinsener ooteaja reeglid vastavalt tegelikule olekule ja seejärel paneb tootmisoperaator talli kambrikatte sisse (selle retsept on sarnane toote retseptiga). Pärast DUMMY-d taastub kambri seisukord normaalsele tasemele, nii et saate südamerahuga toota.

08

Miks ma pean alumiiniumi sihtmärgile lisama väikese koguse vaske?

Vastus: Kui vool liigub alumiiniumi metallikihis, liiguvad alumiiniumi aatomid piki tera liidest, kui see nähtus on liiga terav, põhjustab see metalltraadi purunemise, väikese koguse vase lisamine võib takistada alumiiniumtraadi purunemist. purustamine.

09

Kuna vase lisamine võib vältida alumiiniumi naelu, siis miks lisada ainult 0,5%?

Vastus: Liiga palju vaske põhjustab söövitusraskusi (vaskkloriid ei ole lenduv).

10

Miks on vaja PVD sihtmärke jahutada?

Vastus: vältige, et sihtmärgi pinnatemperatuur oleks liiga kõrge, mis põhjustab aurustumisnähtuse ja muudab metallkile kvaliteedi ebastabiilseks.

11

Miks on vaja kontrollida vee puhtust, kui masin peab kasutama jahutusvett?

V: Vältige katlakivi tekkimist või isolatsiooni.

12

Miks tuleb protsessigaasitorusid soojendada?

Vastus: Vältige protsessigaasi kondenseerumist vedelikuks, mis protsessi mõjutab.

13

Mis on PM? Miks tööriistad vajavad PM-i?

Vastus: PM on ennetav hooldus ja masina vastavate osade (varuosade) jaoks võetakse vastavalt tsüklile vastavaid hooldus- või asendusmeetmeid, et säilitada masina töö stabiilsus, vältida protsessi saagikuse vähenemist. ning pikendab masina ja osade eluiga.

Graafiku järgi saab selle jagada igakuiseks hoolduseks, kvartaalseks hoolduseks ja iga-aastaseks hoolduseks.

Vastavalt vahvlite arvule on see koguse säilitamiseks.

14

Miks peab insener PM tegemisel küttekeha sobiva temperatuurini jahutama?

V: Inseneride ja masinate ohutuse tagamiseks.

15

Miks peab kamber välja küpsema, kui insener PM-i teeb?

V: Heitgaasi eemaldamiseks vältige ebapuhaste gaaside sattumist kilesse ja protsessi mõjutamist.

16

Millist rolli mängivad PVD ja W-CVD IC tootmises?

V: Alumiinium ja volfram on metallikihid ning seadet ja pakendit ühendavad juhtmed moodustavad nende vahele tee, et vool saaks takistamatult voolata.

17

Mis on Bake out?

Vastus: Kui insener teeb PM-i, puutub kambri avamisel kambri sisemus kokku atmosfääriga ja kui insener PM-i lõpetab, peab ta küpsetama, soojendama kambrit ja ajama veemolekulid minema. ja muud siseküljele kinnitatud gaasid, et suurendada vaakumi taset.

18

Millist gaasi kasutatakse PVD protsessis?

Vastus: N2 vs Ar. 

19

Mis on N2 ja Ar eesmärk PVD protsessis?

Vastus: Pärast Ar ioniseerimist elektronidega tabab sihtmärgiks muutuv kuul sihtmärki ja lööb vahvlile SIHTMÄRKU aatomid maha ning N2 eesmärk on sihtmärgi pinnaaatomeid nitriidida.

20

Miks kasutada Ar gaasiallikana PVD pihustamise jaoks?

Vastus: (1) Nüri gaas, mida ei ole kerge keemiliselt muuta. (2) Raske mass (AMU 40), hea pritsmeefekt. (3) Hind on odav.

21

Mis on PVD protsessirõhk?

A: 2-20 mTorr.

22

PVD mõõtmismasina projekt: miks?

V: Peegeldusindeks, paksus, takistusleht, osake, ühtlus.

23

Miks kasutab masin lekke tuvastamiseks heeliumi?

Vastus: (1) Heeliumi sisaldus atmosfääris on väga väike, seega vältige valearvestusi. (2) Heeliumil on tugev läbilaskvus ja lekkeid on lihtne tuvastada. (3) Heelium on nüri gaas, mis ei tekita kergesti reostust ega korrosiooni.

24.Miks ma pean PVD-protsessis enne katmist eemaldama algse oksiidikihi?

V: Algne oksiidikiht eemaldatakse eelnevalt, et metallikihtide vaheline takistus ei oleks liiga suur ning kile ja aluspinna vaheline nake suureneks.

25. Miks PVD kasutab alalisvoolu?

Vastus: Kasutades alalisvoolu, mis on ühendatud teatud koguse argooniga (Ar gaas), moodustub vaakumkambris plasma (plasma). Ioonmetallis olevad ioonid tabasid sihtmärki, lükates sihtmärgi aatomid vahvlile maha ja moodustades metallkile.

26.Miks peavad masinad kasutama jahutusvett?

Vastus: Kontrollige temperatuuri, et temperatuur ei tõuseks liiga kõrgele ja ei kahjustaks masinat.

27.Mis on protsessikomplekt?

Vastus: Kambri sees on moodustatud kilp ja kate võib takistada kattekihi katmist kambri sees ning seda saab puhastamiseks või asendamiseks eemaldada iga kord, kui see on PM.0020-40946 KLAMPRING, 8" SNNF, AL,0020-27113 KLAATRI RING 6 SMF TI,0020-24896 KAATESÕNGAS 6" SST 101 AL,0020-28205 6" TI KAATESÕRMUS,0021-35946 Äärerõngas, TXZ, 200 mm, SNNFon kõik protsessikomplektide metallosad.0200-00221 ISOLATORI KVARTS, 8'ja0200-00218 Kaanepealne kvarts 8" PCIIon protsessikomplektide kvartsist osad.

28. Miks peaks töötlemata vaakumpump kasutama õlitüübi asemel kuiva tüüpi?

Vastus: Vältige õli tagasivoolu masinasse.

29

Mitu vaakumpumpa kasutatakse PVD jaoks?

V: töötlemata vaakum pumbatakse atmosfäärirõhult 5 mTorrini ja krüopump pumbatakse 5 mTorrilt 10E-9 Torrini kõrgvaakumi jaoks.

30 Kuidas saada 30PVD protsessis kõrgvaakumit?

V: Kasutage kõrgvaakumpumpa.