Söövitusseadmete põhistruktuur

 

Peavoolu söövitusseadmete struktuuri võib jagada kaheks osaks: põhikorpus ja abiseadmed. Nende hulgas sisaldab söövitusseadmete põhiosa EFEM-i (seadmete esiosa), TM-i (edastusmoodul), PM-i (protsessimoodul) ja kolme moodulit. EFEM-moodul vastutab peamiselt pooljuhtide tehases erinevatest käitlemisseadmetest (sh vahvlilaadurid, käsitsemisrobotid ja õhukraanad) vahvlite laadimise eest söövitusseadmetesse; TM-moodul vastutab peamiselt vahvlite ülekandmise eest söövitusseadmete sees; PM on moodul, mis tegelikult vahvli söövitas ja sellega seotud füüsikalis-keemilised reaktsioonid toimuvad. Abiseadmete ülesanne on pakkuda ülaltoodud kolmele moodulile garantiituge ja paigutus on suhteliselt sõltumatu masina põhikorpusest.

Seoses nõudluse suurenemisega ühe söövitusseadme tootmisvõimsuse järele integraallülituste tootmises näitab ühe söövitusmasina reaktsiooniõõnsuste arv suundumust vähemalt enamale. 1990. aastatel tõi Tokyo Electron esmakordselt turule mitme reaktoriga Unity seeria ühel platvormil, Teliuse, maailma esimese paralleelse kambristruktuuriga masina ning 2010. aastatel 6/8 õõnsustega Tactras. Tokyo Electroni uusimat Episode seeriat saab varustada kuni 12 õõnsusega, mis parandab oluliselt söövitusseadmete ruumitõhusust ja jätab fabidele rohkem ruumi tootmise laiendamiseks.

Mitme söövitusreaktoriga söövitusseadmed on fabide jaoks tootmisvõimsuse suurendamiseks hädavajalikud. Sest mida suurem on kambrite arv ühes masinas, seda väiksem on keskmiselt ühe kambri ruum. Fab-puhastusjaama ülalpidamine nõuab palju kulusid, vähendades ühe seadme poolt hõivatud ruumi, suurendades tõhusalt puhastustehase vahvlite tootmisvõimsust pinnaühiku kohta ning vähendades ühele seadmele eraldatud tehase amortisatsiooni- ja hoolduskulusid. vahvel. Reaktsioonikiirus on aeglasem ja vahvli väljund ajaühiku kohta on väiksem kui vahvlil (vahv tunnis) (dielektriline söövitusseade), mis kaldub rohkem kasutama ultra-mitmeõõnsusega struktuuri. PM-kambrite arvu kasv seab aga uued nõudmised EFEM-i esiosa mooduli ja TM-i transpordimooduli laadimis- ja transpordiprotsessile.